“대만 TSMC, 1.6나노칩 개발 성공… 올해 4분기 양산”

대만 TSMC가 1.6나노미터(㎚·10억분의 1m)급 반도체 공정인 ‘A16’ 개발과 검증을 마치고 올해 4분기 양산에 들어갈 것으로 알려졌다.

20일 자유시보 등 대만 언론에 따르면 TSMC는 웨이퍼 후면전력공급(BSPDN) 기술인 ‘슈퍼 파워 레일(SPR)’을 적용한 A16 공정 개발을 완료했다.

A16은 TSMC가 2나노 이후 선보이는 옹스트롬(Å·