큐빅셀, 반도체 유리기판 TGV 전주기 검사 장비 개발
큐빅셀이 반도체 유리기판 핵심 요소인 '글라스관통전극(TGV)' 전주기 검사 장비를 개발했다. 독자 개발한 홀로그래피 기반 광학 기술을 기반으로, TGV 결함뿐만 아니라 레이저 가공(개질), 최종 TGV 구멍(비아홀) 등 전 공정을 파악할 수 있어 수율과 생산성 개선이 기대된다. 큐빅셀은 최근 유리기판 TGV 내부에 발생한 미세 균열(마이크로 크랙)을 마이크로미터(㎛) 단위로 검출할 수 있는 설비를 개발했다고 14일 밝혔다.
TGV는 유리기판에
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