イーエスティ、静電チャック国産化へ
静電チャックのトータルソリューション企業、イーエスティがコスダック上場を通じ、半導体用静電チャックの国産化とガラス基板・オレドス（OLEDoS）など次世代製品の開発を加速させる。
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